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Descripción

Adhesion Aspects in MEMS/NEMS

This book discusses equilibrium vapor adsorption and capillary force and effects of contacting surfaces on MEMS device reliability. It serves as a fountainhead for new research ideas and new application vistas and enhances the performance and durability/robustness of MEMS/NEMS.
  • Nº de Fruugo : 434322723-911529905
  • ISBN: 9780367445942

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